進(jìn)口氣動 Y 型真空擋板閥是高 / 超高真空系統(tǒng)專用的氣動驅(qū)動式 Y 型流道擋板閥，核心用于真空管路中接通 / 切斷氣流，適配從1×10⁻⁶ Pa（高真空）至 1.2×10⁵ Pa（常壓） 的寬壓力區(qū)間。采用Y 型角通結(jié)構(gòu) + 波紋管 / 氟橡膠雙密封 + 氣動執(zhí)行器，具備低漏率、高流導(dǎo)、快啟閉、易清潔、長壽命等優(yōu)勢，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光伏、科研、醫(yī)藥、航空航天等高端真空制程場景，。
產(chǎn)品特點Product features
2，極致密封，漏率可控：
軸封：全焊接波紋管密封（漏率≤1.3×10⁻⁷ Pa·L/s），無潤滑劑、無顆粒污染。
閥座：氟橡膠（FPM）O 型圈，耐高溫（-30℃~180℃）、耐老化。
3，氣動驅(qū)動，安全高效：
壓縮空氣驅(qū)動（0.4~0.7 MPa），單作用（彈簧復(fù)位常閉）/ 雙作用可選。
啟閉迅速（≤1 s），帶磁性開關(guān)反饋，可遠(yuǎn)程監(jiān)控閥位。
失氣 / 斷電自動關(guān)閉，保障真空系統(tǒng)安全。
4，材質(zhì)精良，耐腐潔凈：閥體 / 閥桿采用304/316L 不銹鋼，內(nèi)部電解拋光，無死角、易清潔，適配半導(dǎo)體 / 醫(yī)藥高純環(huán)境。
模塊化設(shè)計，免維護(hù)長壽命：標(biāo)準(zhǔn)化組件，**80 萬次 +** 免維護(hù)啟閉，可在線更換密封件，無需拆閥體。
工作原理working principle
以壓縮干燥空氣為動力，通過電磁換向閥控制氣路方向：
1，開啟過程：電磁閥得電→壓縮空氣進(jìn)入執(zhí)行器無桿腔→推動活塞上行→閥桿帶動閥板提升→Y 型流道完全導(dǎo)通，氣流無阻通過。
2，關(guān)閉過程：電磁閥失電→無桿腔排氣→彈簧復(fù)位（單作用）或反向進(jìn)氣（雙作用）→活塞下行→閥板壓向閥座→密封圈壓縮密封，阻斷氣流。
技術(shù)參數(shù)Technical Specifications
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公稱通徑 |
DN16～DN200（KF/CF 法蘭） |
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壓力范圍 |
高真空：10⁵～1.3×10⁻⁴ Pa；超高真空：10⁵～1.3×10⁻⁶ Pa |
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泄漏率 |
橡膠密封≤1.3×10⁻⁶ Pa・L/s；波紋管≤1.3×10⁻⁹ Pa・L/s |
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介質(zhì)溫度 |
NBR：-25～80℃；FPM：-30～150℃ |
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氣源壓力 |
0.4～0.8 MPa（4～6.5 kg/cm²） |
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電源 |
AC220V/50Hz（標(biāo)準(zhǔn)）；AC110V/DC24V 可選 |
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閥體材質(zhì) |
304/316L 不銹鋼、WCB 碳鋼 |
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密封材質(zhì) |
FPM（Viton）、NBR、金屬銅（UHV） |
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連接方式 |
KF 快卸、ISO 法蘭、CF 超高真空法蘭 |
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安裝位置 |
DN＜300 任意；DN≥300 垂直安裝 |
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備注 |
其它特殊密封材質(zhì)或特殊溫度亦可根據(jù)客戶要求設(shè)計選型。 |
外形尺寸Overall Dimension
主要零部件材質(zhì)Material of main parts
020-32399500
